四探針測試技術(shù)是半導(dǎo)體生產(chǎn)中主要監(jiān)測手段之一,并且在半導(dǎo)體材料的測量中發(fā)揮著越來越重要的作用。四探針測試技術(shù)是一種高的精度測量技術(shù),在有些情況下還需要有高分辨率。每一種四探針法對探針的結(jié)構(gòu)、位置和針尖距都有不同的要求,一般情況下,針距都是很小的,可能低于1mm。在大片徑樣品測量中,要盡可能地減小測量區(qū)域,以便更好地觀測樣品電阻率的不均勻性。
鑒于以上原因,在測量時需要對測試臺、樣品和探針都進(jìn)行細(xì)微的實(shí)時監(jiān)測,保證測量是在允許的情況下進(jìn)行的。但是人的肉眼的分辨率有限,直接依靠肉眼觀測容易疲勞而產(chǎn)生誤判,而且不能進(jìn)行記錄,會給測量結(jié)果帶來很大的誤差。通常情況下可以通過顯微鏡解決肉眼分辨率低的問題,但是檢測起來還是相當(dāng)麻煩。視頻采集技術(shù)的發(fā)展可以很好地解決以上問題,能對測試過程進(jìn)行圖像采集、記錄和分析,達(dá)到實(shí)時監(jiān)測的要求,而且有很高的分辨率,方便測量員對測量過程的控制。
視頻采集技術(shù)在四探針測量中發(fā)揮著重要作用,主要體現(xiàn)在兩個方面:
1)對顯微鏡監(jiān)測對象的圖像進(jìn)行實(shí)時采集;
2)對采集到的視頻數(shù)據(jù)進(jìn)行處理,包括分析、記錄和顯示。一般可以借助計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)視頻信息的記錄與顯示,從而使得傳統(tǒng)的探針測試臺與計(jì)算機(jī)技術(shù)緊密地結(jié)合起來。
視頻采集技術(shù)的引進(jìn)實(shí)現(xiàn)了對四探針測量過程真正意義上實(shí)時監(jiān)測,提高了測試儀的控制精確性,從而提高了測量結(jié)果的精度和性,尤其對觀測樣品電阻率的不均勻性有很大的幫助。