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基礎(chǔ)信息Product information
產(chǎn)品名稱:

HCTZ-2S四探針測試儀器

產(chǎn)品型號:

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

所在地:北京市

更新日期:2023-05-10

產(chǎn)品簡介:

HCTZ-2S四探針測試儀器是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的,于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成,測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示,亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。

產(chǎn)品特性Product characteristics
品牌華測

產(chǎn)品名稱:四探針測試儀

產(chǎn)品型號:HCTZ-2S

品牌:北京華測

一、產(chǎn)品介紹

HCTZ-2S四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的,于測試半導(dǎo)體材料電阻率方塊電阻(薄層電阻)的儀器。儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成,測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示,亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。

HCTZ-2S雙電測數(shù)字式四探針試驗儀是運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,采用兩次電測量,對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提高精確度,也可應(yīng)用于產(chǎn)品檢測以及新材料電學(xué)性能研究等用途。

四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計分析。

測試程序控制四探針試驗儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)據(jù)分析。

HCTZ-2S四探針測試儀

1、使用幾何尺寸十分精確的紅寶石軸承,量具精度的硬質(zhì)合金探針,在寶石導(dǎo)孔內(nèi)運動,持久耐磨,測量精度高、重復(fù)性好。

A.探頭間距1.00

B.探針機械游率:±0.3%

C.探針直徑0.5    

D.探針材料:碳化鎢,常溫不生銹

E探針間及探針與其他部分之間的絕緣電阻大于109歐姆。

2、手動測試架

手動測試架探頭上下由手動操作,可以用作斷面單晶棒和硅片測試,探針頭可上下移動距離:120mm,測試臺面200x200(mm)。

產(chǎn)品應(yīng)用

HCTZ-2S四探針試驗儀采用四探針雙電測量方法,適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門,是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料在高溫、真空及氣氛條件下測量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示,無需人工計算,并帶有溫度補償功能。采用精度的AD芯片控制,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便,配備10英寸觸摸屏,軟件可保存和打印數(shù)據(jù),自動生成報表;本儀器可顯示電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導(dǎo)率,配備不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購。

產(chǎn)品特點
    1.TVS瞬間抑制防護技術(shù): 光耦與隔離無非是提高儀器的采集的抗干擾處理,對于閃絡(luò)放電過程中的浪涌對控制系統(tǒng)的防護起不到任何作用。華測TVS瞬間抑制防護技術(shù),將起到對控制系統(tǒng)的防護。
    2.本儀器的特點是主機配置三個數(shù)字表,在測量電阻率的同時,一塊數(shù)字表適時監(jiān)測全程的電流變化,更及時掌控測量電流,一塊顯示2、3探針間的測量電壓,另一塊是顯示當(dāng)前1、4探針測量使用的電壓,可以適當(dāng)調(diào)整測量電壓避免材料耐壓不夠而電壓擊穿被測材料。

3.主機還提供精度為0.05%的恒流源,使測量電流高度穩(wěn)定。本機配有恒流源開關(guān),在測量某些薄層材料時,可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生,好地保護薄膜。采用低通濾波電流檢測技術(shù)以保證采集電流的有效值 ,以及電流抗干擾的屏蔽。
    4.探針采用碳化鎢硬質(zhì)合金,硬度高、常溫不生銹,探針游移率在0.10.2%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和度。本機如加配測量軟件,測量硅片時可自動進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正,并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度,給測量帶來很大方便。軟件平臺

5.HCTZ-800系統(tǒng)搭配Labview系統(tǒng)開發(fā)的hcpro軟件,具備彈性的自定義功能,可進(jìn)行電壓、電流。

6.儀器通過USB轉(zhuǎn)RS232連接線與電腦連接,軟件可對四探針電阻率測量數(shù)據(jù)進(jìn)行處理并修正測量數(shù)據(jù),特定數(shù)據(jù)存儲格式,顯示變化曲線,兼容性:適用于通用電腦

7.測試系統(tǒng)的軟件平臺hcpro,采用labview系統(tǒng)開發(fā),符合導(dǎo)體、半導(dǎo)體材料的各項測試需求,具備穩(wěn)定性和安全性,并具備斷電資料的保存功能,圖像資料可保存恢復(fù)。兼容XPwin7、win10系統(tǒng)。

軟件功能

具有試驗電壓設(shè)置功能;

可選擇試驗標(biāo)準(zhǔn)

可選擇是否自定義或自動試驗

截止條件:時間/電壓/電流;

語音提示:可選擇是否語音提示功能。

統(tǒng)計報告:可自定報表格式

可生出PDF、CSV、XLS文件格式

分析功能:可對測試的數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計。大/小值、平均值等。

技術(shù)參數(shù)

測量范圍

 阻:1×10-4~2×105Ω,     分辨率:1×10-5~1×102Ω

電阻率:1×10-4~2×105Ω-cm,  分辨率:1×10-5~2×102Ω-cm

 阻:5×10-4~2×105Ω/□,  分辨率:5×10-5~1×102Ω/

數(shù)字電壓表

量程:20.00mV~2000mV

誤差:±0.1%讀數(shù)±2

數(shù)控恒流源

量程:0.1μA,1μA,10μA100μA,1mA,10mA,100mA,1A

誤差:±0.1%讀數(shù)±2

四探針探頭

碳化鎢探針:Ф0.5mm,直流探針間距1.0mm,探針壓力:0~2kg可調(diào)

薄膜方阻探針:Ф0.7mm,直流或方形探針間距2.0mm,探針壓力:0~0.6kg可調(diào)

注意事項

1、儀器操作前請您仔細(xì)閱讀使用說明書,規(guī)范操作

2、輕拿輕放,避免儀器震動,水平放置,垂直測量

3、儀器不使用時請切斷電源,連接線無需經(jīng)常拔下,避免灰塵進(jìn)入航空插引起短接等現(xiàn)象

4、探針筆測試結(jié)束,套好護套,避免人為斷針。



HCTZ-2S四探針測試儀器、

HCTZ-2S四探針測試儀器

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